MDXN-31D4 Wysoko precyzyjna maszyna litograficzna dwustronna , China MDXN-31D4 Wysoko precyzyjna maszyna litograficzna dwustronna Manufacturers, Suppliers, Factory

Opis produktu

To urządzenie jest主要用于 do rozwoju i produkcji małych i średnich zintegrowanych obwodów, półprzewodnikowych elementów oraz urządzeń fal powierzchniowych. Z powodu zaawansowanego mechanizmu wyrównania i niskiej siły wyrównania, to urządzenie nie tylko jest odpowiednie do ekspozycji różnych rodzajów podłoży, ale również do ekspozycji podłoży łatwych do kruszenia się, takich jak arsenek potasu i stal fosforowa, oraz do ekspozycji podłoży niokrągłych i małych.

MDXN-31D4 High Precision Double-sided Lithography Machine details

Specyfikacja

Główne parametry techniczne

1. Typ ekspozycji: kontaktowy, wyrównanie płyty, pojedyncza ekspozycja dwustronna
2. Obszar narażenia: 110X110mm;
3. Jednolitość narażenia: ≥ 97%;
4. Intensywność narażenia: 0-30mw/cm2调节;
5. Kąt promieniowania UV: ≤ 3 °
6. Centralna długość fali światła ultrafioletowego: 365nm;
7. Czas życia źródła światła UV: ≥ 20000 godzin;
8. Temperatura powierzchni roboczej: ≤ 30 ℃
9. Użycie elektronicznego zwrotu;
10. Rozdzielczość ekspozycji: 1 μ M (głębgłąb ekspozycji jest około 10 razy większa niż szerokość linii)
11. Tryb ekspozycji: jednoczesna ekspozycja z obu stron
12. Zakres wyrównania: x: ± 5mm Y: ± 5mm
13. Dokładność wyrównania płyty: 2 μ m
14. Zakres obrotu: regulacja obrotu w kierunku Q ≤ ± 5 °
15. Układ mikroskopowy: system CCD z podwójnym polem widzenia, obiektyw 1.6X~10X, komputerowy system przetwarzania obrazu, monitor LCD 19 "; całkowite powiększenie 91-570x
16. Rozmiar maski: zdolność do absorpcji próżniowych kwadratowych maski o rozmiarze 5 ", bez specjalnych wymagań co do grubości maski (od 1 do 3 mm).
17. Rozmiar podłoża: odpowiedni dla podłoża o rozmiarze 4 ", przy grubości podłoża od 0,1 do 2 mm.
18. Podczas zamawiania nie ma specjalnych wymagań, a półka 5" X5 jest standardowa; można dostosowywać półki poniżej 5" X5:

Pakowanie i Dostawa

MDXN-31D4 High Precision Double-sided Lithography Machine manufacture

MDXN-31D4 High Precision Double-sided Lithography Machine factory

Profil Firmy

Mamy 16-letnie doświadczenie w sprzedaży urządzeń. Możemy zapewnić Ci kompleksowe rozwiązania w zakresie profesjonalnych linii pakowania półprzewodników z Chin, zarówno dla etapu początkowego, jak i końcowego.