Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Strona główna
O Nas
Sprzęt M.H
Rozwiązanie
Użytkownicy zagraniczni
Wideo
Skontaktuj Się z Nami
Strona główna> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • System trawienia jonami reaktywnymi Maszyna RIE Analiza awarii RIE
  • System trawienia jonami reaktywnymi Maszyna RIE Analiza awarii RIE
  • System trawienia jonami reaktywnymi Maszyna RIE Analiza awarii RIE
  • System trawienia jonami reaktywnymi Maszyna RIE Analiza awarii RIE
  • System trawienia jonami reaktywnymi Maszyna RIE Analiza awarii RIE
  • System trawienia jonami reaktywnymi Maszyna RIE Analiza awarii RIE
  • System trawienia jonami reaktywnymi Maszyna RIE Analiza awarii RIE
  • System trawienia jonami reaktywnymi Maszyna RIE Analiza awarii RIE
  • System trawienia jonami reaktywnymi Maszyna RIE Analiza awarii RIE
  • System trawienia jonami reaktywnymi Maszyna RIE Analiza awarii RIE
  • System trawienia jonami reaktywnymi Maszyna RIE Analiza awarii RIE
  • System trawienia jonami reaktywnymi Maszyna RIE Analiza awarii RIE

System trawienia jonami reaktywnymi Maszyna RIE Analiza awarii RIE Polska

opis produktu 
Reaktywny system trawienia jonowego
System trawienia jonami reaktywnymi Maszyna RIE Dostawca analizy awarii RIE
Zastosowanie
Warstwa pasywacyjna: SiO2, SiNx
Tylny krzem
Warstwa klejąca: TaN
Przez otwór: W
Cecha
1. Trawienie warstwy pasywacyjnej z otworami lub bez;  
2. Wytrawianie warstwy klejącej;  
3. Tylne trawienie krzemu
Specyfikacja
Konfiguracja projektu i schemat budowy maszyny
Pozycja
MD150-RIE
MD200-RIE
MD200C-RIE


Rozmiar produktu
≤6 cali
≤8 cali
≤8 cali


Źródło zasilania RF
0-300 W/500 W/1000 W Regulowane, automatyczne dopasowanie


Pompa molekularna
-/620(L/s)/1300(L/s)/Niestandardowe

Antyseptyczny 620(L/s)/1300(L/s)/Niestandardowy

Pompa przednia
Pompa mechaniczna/pompa sucha

Pompa sucha

Ciśnienie procesowe
Niekontrolowane ciśnienie/kontrolowane ciśnienie 0-1 Torr


Rodzaj gazu
H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/
CHF3/C4F8/NF3/Niestandardowe
(Do 9 kanałów, bez gazów korozyjnych i toksycznych) 

H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Up to 9 channels) 

Zakres gazu
0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/custom


Załaduj blokadę
Tak/Nie

Tak

Przykładowa kontrola temp
10°C~Tem. pokojowa/-30°C~100°C/Niestandardowe

-30°C~100°C /Niestandardowe

Tylne chłodzenie helem
Tak/Nie

Tak

Wyściółka komory technologicznej
Tak/Nie

Tak

Kontrola temperatury ściany szczelinowej
Nie/temperatura pokojowa~60/120°C

Temperatura pokojowa -60/120°C

System sterowania
Automatyczny/niestandardowy


Materiał trawiący
Na bazie krzemu:Si/SiO2/SiNx. 
IV-IV: SiC
Materiały magnetyczne/materiały stopowe
Materiał metaliczny: Ni/Cr/Al/Au. 
Materiał organiczny: PR/PMMA/HDMS/folia organiczna. 

Na bazie krzemu: Si/SiO2/SiNx. 
III-V(注3): InP/GaAs/GaN. 
IV-IV: SiC
II-VI (注3): CdTe. 
Materiały magnetyczne/materiały stopowe
Materiał metaliczny: Ni/Cr/A1/Au. 
Materiał organiczny: PR/PMMA/HDMS/folia organiczna. 

1. Zapobiegaj lataniu żetonów
2. Minimalny węzeł, który można przetworzyć: 14 nm:
3. Szybkość trawienia SiO2/SiNx: 50 ~ 150 nm/min;
4. Chropowatość powierzchni trawionej: 5. Warstwa pasywacyjna wspierająca, warstwa adhezyjna i trawienie silikonowe;
6. Stosunek wyboru Cu/Al:>50
7. Maszyna typu „wszystko w jednym” DxSxW: 1300mmX750mmX950mm
8. Obsługuj wykonanie jednym kliknięciem
Wynik procesu

Trawienie materiałów na bazie krzemu

Materiały na bazie krzemu, wzory nanodruku, tablica
wzory i wytrawianie wzorów soczewek
System trawienia jonami reaktywnymi Maszyna RIE RIE Fabryka analizy awarii

Trawienie w normalnej temperaturze InP

Trawienie wzorów urządzeń opartych na InP stosowanych w komunikacji optycznej, w tym struktury falowodu, struktury wnęki rezonansowej.
System trawienia jonami reaktywnymi Maszyna RIE Dostawca analizy awarii RIE

Trawienie materiału SiC

Nadaje się do urządzeń mikrofalowych, urządzeń zasilających itp.


System trawienia jonami reaktywnymi Maszyna RIE RIE Szczegóły analizy awarii

Rozpylanie fizyczne, trawienie Trzęsienie materiału organicznego

Stosuje się go do trawienia materiałów trudnych do trawienia, takich jak niektóre metale (takie jak Ni/Cr) i ceramika, a także
wzorcowe swędzenie.
Służy do trawienia i usuwania związków organicznych takich jak fotorezyst (PR)/PMMA/HDMS/polimer
System trawienia jonami reaktywnymi Maszyna RIE RIE Fabryka analizy awarii
Wyświetlanie wyników analizy awarii
System trawienia jonami reaktywnymi Maszyna RIE Produkcja analizy awarii RIE
Szczegóły Produktu 
System trawienia jonami reaktywnymi Maszyna RIE RIE Szczegóły analizy awarii
System trawienia jonami reaktywnymi Maszyna RIE Produkcja analizy awarii RIE
System trawienia jonami reaktywnymi Maszyna RIE Dostawca analizy awarii RIE
System trawienia jonami reaktywnymi Maszyna RIE RIE Fabryka analizy awarii
System trawienia jonami reaktywnymi Maszyna RIE Produkcja analizy awarii RIE
System trawienia jonami reaktywnymi Maszyna RIE RIE Fabryka analizy awarii
Pakowanie i dostawa 
System trawienia jonami reaktywnymi Maszyna RIE RIE Fabryka analizy awarii
System trawienia jonami reaktywnymi Maszyna RIE RIE Szczegóły analizy awarii
maszyna do lutowania
Profil firmy

Zaawansowana technologicznie maszyna do wytrawiania jonowego (RIE) firmy Minder to najnowocześniejsze urządzenie, które pozwala na trawienie i analizę różnego rodzaju materiałów z niesamowitą precyzją. Maszyna ta jest przeznaczona do stosowania w różnych gałęziach przemysłu, w których regularnie wymagana jest mikrofabrykacja lub trawienie. Wykonany jest z wysokiej jakości materiałów, dzięki czemu jest trwały, niezawodny i zapewnia doskonałe rezultaty. 

 

Wyposażony w generator plazmy RF jest skuteczny. System RIE wykorzystuje sprzęgło indukcyjne do wytworzenia plazmy z podawanej benzyny. Technika ta tworzy plazmę o dużej gęstości, która zwiększa szybkość trawienia związaną z produktem. Proces trawienia maszyny RIE jest skuteczny, dokładny i wysoce kontrolowalny, co pozwala na osiągnięcie określonej głębokości. Ta funkcja jest wyjątkowa i stanowi doskonały wybór do prac badawczych lub przemysłowych. 

 

Maszyna ma szeroki zakres zastosowań, w tym mikroelektronikę, produkcję MEMS i produkcję półprzewodników. Maszyna ta odgrywa ważną rolę w trawieniu i mikroobróbce materiałów półprzewodnikowych, takich jak krzem, arsenek galu i german, w przemyśle półprzewodników. Urządzenie Minder-High-tech RIE sprawdziło się również w branży MEMS do wytwarzania materiałów miękkich i twardych, takich jak poliimid, dwutlenek krzemu i azotek krzemu. Dodatkowo jest dostępny do analizy awarii w branżach związanych z usługami i produktami elektronicznymi. 

 

Zawiera różne funkcje, dzięki którym jest łatwy w użyciu. Jest to oprogramowanie przyjazne dla użytkownika, zapewniające operatorowi pełną kontrolę nad parametrami trawienia wykorzystywanymi w urządzeniu. Ustawienia urządzenia zapisywane są w jego wewnętrznej pamięci, w której można zapisać ponad 100 zestawów ustawień. Dotykowy ekran umożliwia operatorowi ustawienie parametrów, takich jak przepływ gazu, gęstość mocy i ciśnienie. Maszyna Minder-High-tech RIE posiada również funkcję kontroli temperatury, która gwarantuje, że materiały zostaną wytrawione w odpowiedniej temperaturze i zapobiegną ich uszkodzeniom. 

 

Idealny dla firm, które wymagają niezawodnej i wydajnej maszyny, która może zapewnić dokładne i precyzyjne wyniki. To urządzenie zostało zaprojektowane przy użyciu najwyższej klasy technologii, a poziom jest bardzo duży. Jego wszechstronność i przyjazne dla użytkownika funkcje sprawiają, że jest to bardzo dobry wybór do zastosowań badawczych i przemysłowych w różnych sektorach. 

 

Posiada również wydajny system analizy awarii, który umożliwia maszynie wykrywanie i korygowanie wszelkich problemów mechanicznych tak szybko, jak to możliwe. System ten zapewnia, że ​​maszyna RIE utrzymuje wysoką jakość i niezawodność przez cały cykl życia. Dla każdej branży, która wymaga precyzyjnego i wydajnego trawienia lub mikrofabrykacji, maszyna Minder-High-tech RIE jest idealnym rozwiązaniem.


Zapytanie ofertowe

Zapytanie ofertowe E-mail WhatsApp WeChat
Topy
×

Skontaktuj się z nami