element |
MD150-RIE |
MD200-RIE |
MD200C-RIE |
||
Rozmiar Produktu |
≤6 cali |
≤8 cali |
≤8 cali |
||
Źródło mocy RF |
0-300W/500W/1000W Regulowane, automatyczne dopasowanie |
||||
Pompka molekularna |
-\/620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Custom |
Antyseptyczny620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Custom |
|||
Pompa przewodnia |
Pompa mechaniczna\/sucha pompa |
Pompa sucha |
|||
Ciśnienie procesowe |
Nierozkazywane ciśnienie\/0-1Torr kontrolowane ciśnienie |
||||
typ gazu |
W\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/SF6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Custom (Do 9 kanałów, bez gazów korozyjnych i trujących) |
H2\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/F6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Cl2\/BCl3\/HBr(Do 9 kanałów) |
|||
zakres gazu |
0~5sccm\/50sccm\/100sccm\/200sccm\/300sccm\/500sccm\/custom |
||||
LoadLock |
Tak/Nie |
Tak |
|||
Próbka kontrola temperatury |
10°C~Temperatura pokojowa/-30°C~100°C/Na zamówienie |
-30°C~100°C/Na zamówienie |
|||
Odwrotna chłodzenie helowym |
Tak/Nie |
Tak |
|||
Obudowa komory procesowej |
Tak/Nie |
Tak |
|||
Kontrola temperatury ścianki komory |
Nie/Temperatura pokojowa~60/120°C |
Temperatura pokojowa-60/120°C |
|||
System sterowania |
Automatycznie/na zamówienie |
||||
Materiał do graveowania |
Na bazie krzemu: Si/SiO2/SiNx. IV-IV: SiC Materiały magnetyczne/materiały z aliantów Materiał metaliczny: Ni/Cr/Al/Au. Materiał organiczny: PR/PMMA/HDMS/Film organiczny. |
Na bazie krzemu: Si/SiO2/SiNx. III-V (Uwaga 3): InP/GaAs/GaN. IV-IV: SiC II-VI (Uwaga 3): CdTe. Materiały magnetyczne/materiały z aliantów Materiał metaliczny: Ni/Cr/Al/Au. Materiał organiczny: PR/PMMA/HDMS /film organiczny. |
Przydatne dla urządzeń mikrofalowych, urządzeń mocowych itp.
Urządzenie Minder-High-tech Reactive Ion Etching (RIE) to nowoczesna technologia, która może wykonywać etczowanie i analizować różne typy materiałów z niesamowitą precyzją. To urządzenie jest przeznaczone do użytku w różnych przemyłach, gdzie mikrofabrykacja lub etczowanie jest potrzebne regularnie. Zostało wykonane z wysokiej jakości materiałów, które czynią je trwały, niezawodny i zdolny do uzyskiwania doskonałych wyników.
Wyposażony w generatory plazmy RF są efektywne. System RIE używa sprzężenia indukcyjnego, aby wytworzyć plazmę z paliwa napędowego. Ta metoda tworzy plazmę o wysokiej gęstości, co zwiększa szybkość etczowania produktu. Proces etczowania maszyny RIE jest efektywny, dokładny i wysoko kontrolowany, umożliwiając osiągnięcie określonej głębokości. Ta funkcja czyni go wyjątkowym wyborem zarówno dla badań, jak i prac przemysłowych.
Maszyna ta ma szeroki zakres zastosowań, w tym mikroelektronika, produkcja MEMS oraz produkcja półprzewodników. Ta maszyna odgrywa ważną rolę w etczu i mikromechanizacji materiałów półprzewodnikowych, takich jak krzem, arsenek galu i german. Urządzenie RIE marki Minder-High-tech zostało również zastosowane w przemyśle MEMS do produkcji zarówno miękkich, jak i twardych materiałów, takich jak poliamid, dwutlenek krzemu i nitru krzemu. Ponadto jest dostępna do analizy awarii w przedsiębiorstwach związanych z elektronicznymi produktami i usługami.
Układ obejmuje funkcje, które w różny sposób ułatwiają użytkowanie. Oprogramowanie jest przyjazne dla użytkownika i zapewnia operatorowi pełną kontrolę nad parametrami etczowania wykorzystywanymi w urządzeniu. Ustawienia maszyny są zapisywane w jej pamięci wewnętrznej, która może przechowywać ponad 100 zestawów ustawień. Posiada ona ekran dotykowy, który pozwala operatorowi ustalać parametry, takie jak przepływ gazu, gęstość mocy oraz ciśnienie. Maszyna Minder-High-tech RIE posiada również funkcję kontroli temperatury, która zapewnia, że materiały są etczowane przy odpowiedniej temperaturze i uniemożliwia ich uszkodzenie.
Idealne dla firm, które potrzebują niezawodnej i efektywnej maszyny zdolnej dostarczać dokładnych i precyzyjnych wyników. To urządzenie zostało zaprojektowane z użyciem najwyższej klasy technologii i ma wiele poziomów funkcjonalności. Jego wielofunkcyjność i przyjazne dla użytkownika cechy czynią je bardzo dobrym wyborem zarówno dla badań, jak i zastosowań przemysłowych w różnych sektorach.
Posiada również wydajny system analizy awarii, który umożliwia maszynie wykrywanie i korygowanie wszelkich problemów mechanicznych jak najszybciej. Ten system gwarantuje, że maszyna RIE utrzymuje wysoką jakość i niezawodność przez cały cykl życia. Dla każdej przemysłowej dziedziny, która wymaga dokładnego i efektywnego etczu albo mikrofabrykacji, maszyna RIE Minder-High-tech jest idealnym rozwiązaniem.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved