Pozycja | MD150-RIE | MD200-RIE | MD200C-RIE | ||
Rozmiar produktu | ≤6 cali | ≤8 cali | ≤8 cali | ||
Źródło zasilania RF | 0-300 W/500 W/1000 W Regulowane, automatyczne dopasowanie | ||||
Pompa molekularna | -/620(L/s)/1300(L/s)/Niestandardowe | Antyseptyczny 620(L/s)/1300(L/s)/Niestandardowy | |||
Pompa przednia | Pompa mechaniczna/pompa sucha | Pompa sucha | |||
Ciśnienie procesowe | Niekontrolowane ciśnienie/kontrolowane ciśnienie 0-1 Torr | ||||
Rodzaj gazu | H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Niestandardowe (Do 9 kanałów, bez gazów korozyjnych i toksycznych) | H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Up to 9 channels) | |||
Zakres gazu | 0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/custom | ||||
Załaduj blokadę | Tak/Nie | Tak | |||
Przykładowa kontrola temp | 10°C~Tem. pokojowa/-30°C~100°C/Niestandardowe | -30°C~100°C /Niestandardowe | |||
Tylne chłodzenie helem | Tak/Nie | Tak | |||
Wyściółka komory technologicznej | Tak/Nie | Tak | |||
Kontrola temperatury ściany szczelinowej | Nie/temperatura pokojowa~60/120°C | Temperatura pokojowa -60/120°C | |||
System sterowania | Automatyczny/niestandardowy | ||||
Materiał trawiący | Na bazie krzemu:Si/SiO2/SiNx. IV-IV: SiC Materiały magnetyczne/materiały stopowe Materiał metaliczny: Ni/Cr/Al/Au. Materiał organiczny: PR/PMMA/HDMS/folia organiczna. | Na bazie krzemu: Si/SiO2/SiNx. III-V(注3): InP/GaAs/GaN. IV-IV: SiC II-VI (注3): CdTe. Materiały magnetyczne/materiały stopowe Materiał metaliczny: Ni/Cr/A1/Au. Materiał organiczny: PR/PMMA/HDMS/folia organiczna. |
Nadaje się do urządzeń mikrofalowych, urządzeń zasilających itp.
Zaawansowana technologicznie maszyna do wytrawiania jonowego (RIE) firmy Minder to najnowocześniejsze urządzenie, które pozwala na trawienie i analizę różnego rodzaju materiałów z niesamowitą precyzją. Maszyna ta jest przeznaczona do stosowania w różnych gałęziach przemysłu, w których regularnie wymagana jest mikrofabrykacja lub trawienie. Wykonany jest z wysokiej jakości materiałów, dzięki czemu jest trwały, niezawodny i zapewnia doskonałe rezultaty.
Wyposażony w generator plazmy RF jest skuteczny. System RIE wykorzystuje sprzęgło indukcyjne do wytworzenia plazmy z podawanej benzyny. Technika ta tworzy plazmę o dużej gęstości, która zwiększa szybkość trawienia związaną z produktem. Proces trawienia maszyny RIE jest skuteczny, dokładny i wysoce kontrolowalny, co pozwala na osiągnięcie określonej głębokości. Ta funkcja jest wyjątkowa i stanowi doskonały wybór do prac badawczych lub przemysłowych.
Maszyna ma szeroki zakres zastosowań, w tym mikroelektronikę, produkcję MEMS i produkcję półprzewodników. Maszyna ta odgrywa ważną rolę w trawieniu i mikroobróbce materiałów półprzewodnikowych, takich jak krzem, arsenek galu i german, w przemyśle półprzewodników. Urządzenie Minder-High-tech RIE sprawdziło się również w branży MEMS do wytwarzania materiałów miękkich i twardych, takich jak poliimid, dwutlenek krzemu i azotek krzemu. Dodatkowo jest dostępny do analizy awarii w branżach związanych z usługami i produktami elektronicznymi.
Zawiera różne funkcje, dzięki którym jest łatwy w użyciu. Jest to oprogramowanie przyjazne dla użytkownika, zapewniające operatorowi pełną kontrolę nad parametrami trawienia wykorzystywanymi w urządzeniu. Ustawienia urządzenia zapisywane są w jego wewnętrznej pamięci, w której można zapisać ponad 100 zestawów ustawień. Dotykowy ekran umożliwia operatorowi ustawienie parametrów, takich jak przepływ gazu, gęstość mocy i ciśnienie. Maszyna Minder-High-tech RIE posiada również funkcję kontroli temperatury, która gwarantuje, że materiały zostaną wytrawione w odpowiedniej temperaturze i zapobiegną ich uszkodzeniom.
Idealny dla firm, które wymagają niezawodnej i wydajnej maszyny, która może zapewnić dokładne i precyzyjne wyniki. To urządzenie zostało zaprojektowane przy użyciu najwyższej klasy technologii, a poziom jest bardzo duży. Jego wszechstronność i przyjazne dla użytkownika funkcje sprawiają, że jest to bardzo dobry wybór do zastosowań badawczych i przemysłowych w różnych sektorach.
Posiada również wydajny system analizy awarii, który umożliwia maszynie wykrywanie i korygowanie wszelkich problemów mechanicznych tak szybko, jak to możliwe. System ten zapewnia, że maszyna RIE utrzymuje wysoką jakość i niezawodność przez cały cykl życia. Dla każdej branży, która wymaga precyzyjnego i wydajnego trawienia lub mikrofabrykacji, maszyna Minder-High-tech RIE jest idealnym rozwiązaniem.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Wszelkie prawa zastrzeżone.