Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Uzyskaj ofertę

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Strona główna
O Nas
MH Equipment
Rozwiązanie
Użytkownicy za Granicą
Wideo
Skontaktuj się z nami
Strona główna> Inspekcja semikonduktorowa
  • Spektroskopowy Elipsometr
  • Spektroskopowy Elipsometr
  • Spektroskopowy Elipsometr
  • Spektroskopowy Elipsometr
  • Spektroskopowy Elipsometr
  • Spektroskopowy Elipsometr
  • Spektroskopowy Elipsometr
  • Spektroskopowy Elipsometr
  • Spektroskopowy Elipsometr
  • Spektroskopowy Elipsometr
  • Spektroskopowy Elipsometr
  • Spektroskopowy Elipsometr

Spektroskopowy Elipsometr

Uzyskaj bezpłatną wycenę
Opis produktu

Spektroskopowy Elipsometr

Elipsometr spektralny umożliwia szybkie i wielopunktowe testy automatyczne oraz może sprawdzić jednolitość próbki w jednym kliknięciu. Produkt wyposażony jest w polaryzator, analizator i kompensator z absolutnymi kodownikami wysokostanowiskowymi z funkcją kompensacji bandgapu, co zwiększa dokładność i stabilność systemu. Stosując architekturę dwuwłókową, zwiększana jest efektywność zbierania światła, dzięki czemu można zebrane wystarczające widma z powierzchni wydrążonych kwasem lub tradycyjnych piramidowych frontów do testowania i analizy. Posiada również podstawowe funkcje, takie jak autofokus, wybór intensywności światła i kompensacja fazy.
Sprojektowany do precyzyjnej i wydajnej analizy właściwości optycznych materiałów. Może działać automatycznie, szybko i
dokładnie mierzyć współczynnik załamania, współczynnik ekstynkcji i grubość warstwy materiałów. Jest on odpowiedni dla potrzeb charakterystyki cienkich warstw i materiałów w badaniach naukowych, półprzewodnikach, fotowoltaice, pokryciach optycznych, panelach wyświetlających i innych dziedzinach.

Obiekt pomiaru:

Pokrycie optyczne: Si02, Si3N4, SnO2, Nb205, Ti02, Ta205, A2O3, MgF2,Pi.
Wyświetlacz: OLED(AIG3, PCBM, NPB, NPD...), elektrody(ITO, PEDOT, MgO, Ag, Al, Mg...) ...
Fotowoltaika: Si, Poly-Si, SiNx, CdS, CIGS, CdTe, PFN-Br, ABX3, PEDOT:PSS, PTB7-Th:PC71BM.
Półprzewodniki: Fotorezyst, ZnO, SiON, SiC, SiGe, GaN, AIN, InP, GaAs, AlxGa(1-x)N
Inne: OCD, 2D-materialy, heterojunty Van der Waalsa i urządzenia...

Funkcja produktu:

Pomiar współczynnika załamania: Dokładnie mierzy współczynnik załamania materiałów przy różnych długościach fal, dostarczając kluczowych danych dla projektowania optycznego i badań materiałowych.
Pomiar współczynnika ekstynkcji: Analizuj właściwości pochłaniania światła przez materiały, aby pomóc w optymalizacji wydajności urządzeń optoelektronicznych.
Pomiar grubości filmu: Wspiera wykrywanie grubości filmów na poziomie nanometrów do mikrometrów z wysoką rozdzielczością i dobrą powtarzalnością.
Szybkie automatyczne testy: Dzięki funkcji wielopunktowego automatycznego skanowania, prędkość pomiaru wynosi 1 sekunda/punkt, co znacząco zwiększa wydajność testów wsadowych.

Zasada pomiaru:

Zasada pomiaru elipsometrii oparta jest na zmianie stanu polaryzacji odbitych promieni świetlnych przed i po odzwierciedleniu od powierzchni medium, aby uzyskać informacje o właściwościach optycznych i strukturze.
Pole elektryczne padającego promienia jest rozkładane na dwie prostopadłe kierunki, przy czym światło p jest równoległe do drgań światła
fala, światło s jest prostopadłe do drgań fali świetlnej. Amplitudy i fazy światła p i s ulegną zmianie, gdy promień zostanie odbity od powierzchni medium.
Korelacja między fizycznymi właściwościami medium a zmianą stanu polaryzacji.

Warunki pracy urządzenia:

Napięcie: 220VAC+10%
Temperatura pokojowa: temperatura otoczenia (10-30)℃
Wilgotność względna: (20-80)%RH

Spektrometr:

Jednostka detekcji: detektor CCD o tyle elementach pikseli, typ szybki z tylnym oświetleniem 2048
Szczegółowe parametry:
1. zakres spektralny lepszy niż 350nm-1000nm
2. parasyczne światło <0,02%@400nm
3. stosunek sygnału do szumu 4800
4. zakres dynamiczny 50000:1
5. holograficzna ścieżka światła
6. rozdzielczość cyfrowa 16-bit
7. prędkość odczytu >400kHz
8. prędkość transmisji danych 600MB/s
9. minimalny czas integracji/krok dostosowania 6 us/1us
10. opóźnienie zewnętrznej spustu 95ns+/–20ns
11. interfejs komputerowy USB4.1C/2.0
12. system operacyjny Win 7/Win 8/Win 10
średni QE w regionie UV, CCD oświetlany od tyłu, średni QE ≥75%. System chłodzenia mikro TE, temperatura po ochłodzeniu to 30°C
niższa niż temperatura otoczenia.
Metoda integracji: kontrola oprogramowania, automatyczne ustawianie czasu integracji, można osiągnąć najlepszy

System źródła światła:

Źródło światła - lampka halogenowa z kulką kwarcową, zakres falowy 350nm-2000nm, bez degradacji, czas życia dłuższy niż 50000 godzin.
Niezależne źródło zasilania dla lampy halogenowej, napięcie 4.9V

Etap z funkcją automatycznego fokusu:

Przesuń próbkę do najlepszego miejsca pomiarowego za pomocą funkcji automatycznego fokusu. Zasięg: 100mm
Dokładność: 0.0005mm. Ograniczenie lokalizacji zarówno z ograniczeniami dodatnimi, jak i ujemnymi oraz czujnikiem pozycji zerowej; można ustawić początkową pozycję, końcową pozycję oraz długość kroku funkcji automatycznego fokusu w oprogramowaniu przy użyciu metody regresji Gaussa; ustaw określony czas integracji i zbierz intensywność metody Fokusu.
Struktura produktu
Specyfikacja
System optyczny:
Kąt incidencji
65°
Odchylenie promienia
< 0.3°
Parametry pomiarowe
Psi&Del, TanPsi&CosDel, Alpha&Beta
Polarizatory
Glan-Thompson
Materiał
a-BBO
Kompensator
ćwierćokresowe opóźnienie fazy, hiperachromatyczne
Wybór intensywności
Element selekcji liniowej gęstości optycznej. Zapewnia dobry stosunek sygnału do szumu w procesie pomiaru, poprawia dokładność danych,
unika nasycenia intensywnością światła lub bycia zbyt słabej, co zmniejszałoby stosunek sygnału do szumu i dokładność
Konstrukcja optyczna
podwójna fibra przekazująca światło z lampy do spektrometru przez elementy polaryzacyjne; stabilna ścieżka światła, wygodna wymiana lamp
Włókno
anty-UV pasywacja; NA=0.22; czyste otwarcie 600um
Mały punkt światła
średnica ≤200um, aby rozróżniać między użytecznym światłem odbitym od powierzchni wewnętrznej a nieużytecznym światłem odbitym od powierzchni zewnętrznej
powierzchnia dolna, łatwa do demontażu
Z falowaniem
1 50um, do rozróżniania między użytecznym światłem odbitym od powierzchni frontowej a nieużytecznym światłem odbitym od dołu
powierzchnia
Podstawowa tabela wyboru parametrów:
Zakres spektralny
350-1000nm
C
Widoczny
210-1000nm
Uc
UV-Widzialny
210-1700nm
Nie
UV-Wid-NIR
Kompensator optyczny
Rc
Jednoelementowy kompensator
RC2
C2
Podwójny kompensator
Zakres spektralny
X-Y
M
Duży chód do 230mm
X-R
R
Duża średnica do 300mm
Pakowanie i Dostawa
Profil Firmy
Minder-Hightech jest reprezentantem sprzedaży i serwisu w equipmencie dla przemysłu półprzewodnikowego i produktów elektronicznych. Od 2014 roku firma ta zobowiązała się do oferowania klientom Wyższej, Niezawodnej i Kompleksowej Oferty w zakresie wyposażenia maszynowego.
FAQ
1. O cenie:
Wszystkie nasze ceny są konkurencyjne i negocjowalne. Cena różni się w zależności od konfiguracji i złożoności dostosowywania urządzenia.

2. O próbkach:
Możemy udostępnić usługi produkcji próbek, ale mogą one wiązać się z pewnymi opłatami.

3. O Płatności:
Po potwierdzeniu planu musisz wpierw zapłacić nam zaliczkę, a fabryka rozpocznie przygotowanie towarów. Po gotowości urządzenia i po zapłaceniu reszty, wyślemy je.

4. O Dostawie:
Po ukończeniu produkcji sprzętu wyślemy Ci film akceptacyjny, możesz również przyjechać na miejsce, aby sprawdzić urządzenie.

5. Instalacja i Debugowanie:
Po przybyciu equipmentu do twojej fabryki możemy wysłać inżynierów do instalacji i debugowania equipmentu. Dla tej opłaty za usługę dostarczymy osobnego ofertę.

6. O gwarancji:
Nasze equipment ma okres gwarancji 12 miesięcy. Po upływie okresu gwarancyjnego, jeśli którekolwiek części ulegną uszkodzeniu i będą wymagały wymiany, obciążymy tylko kosztem zakupu.

Więcej produktów

Zapytanie

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Polityka prywatności

Zapytanie Email Whatsapp WeChat
Top
×

Skontaktuj się z nami