Toczony krążek
|
Rozmiar
|
Calowanie
|
4,5,6,8
|
Sposób tarcia
|
-
|
Pionowa metoda toczenia w głąb
|
|
Oś toczywa
|
Typy
|
-
|
Podkładki powietrzne
|
ILOŚĆ
|
-
|
1
|
|
Prędkość
|
obr/min
|
0~5000
|
|
Moc wyjściowa
|
KW
|
5.5/7.5
|
|
Skok
|
mm
|
150
|
|
Prędkość posuwu
|
um/s
|
0.01~100
|
|
Prędkość przewijania
|
mm/min
|
300
|
|
Rozdzielczość
|
um
|
0.1
|
|
Oś robocza
|
Typ
|
-
|
Pod rollingowe
|
ILOŚĆ
|
-
|
1
|
|
Prędkość
|
obr/min
|
0~300
|
|
Moc
|
kW
|
0.75
|
|
Typ Przyssawki
|
-
|
Ceramika mikroporowa
|
|
Metoda ssąca wafera
|
-
|
Adsorpcja próżniowa
|
|
Transport wafera
|
-
|
Ręczny
|
|
Inne funkcje
|
Centrowanie wafera
|
-
|
-
|
Czyszczenie wafera
|
-
|
-
|
|
Czyszczenie kubka ssącego
|
-
|
-
|
|
KOŁO SZLIFUJĄCE
|
mm
|
φ200
|
|
ONLINE
pomiar |
Zakres pomiaru
|
um
|
0~1800
|
Rozdzielczość
|
um
|
0.1
|
|
Dokładność powtarzalności
|
um
|
±0,5
|
|
Obróbki
dokładność |
Dokładność wewnątrzwaferowa (TTV)
|
um
|
≤ 2
|
Dokładność między płytkami (WTW)
|
um
|
±3
|
|
Roughness powierzchni (Ry)
|
um
|
0.1(2000#finish)
|
|
Wygląd
|
Kolorowanie wyglądu
|
um
|
Wzorzec pomarańczowy
|
Wymiary (S×G×W)
|
mm
|
690×1720×1780
|
|
Waga
|
kg
|
1400
|
Toczony krążek
|
Rozmiar
|
Calowanie
|
6,8,12
|
Sposób tarcia
|
-
|
Pionowa metoda toczenia w głąb
|
|
Oś toczywa
|
Typy
|
-
|
Podkładki powietrzne
|
ILOŚĆ
|
-
|
1
|
|
Prędkość
|
obr/min
|
0~5000
|
|
Moc wyjściowa
|
KW
|
5.5/7.5
|
|
Skok
|
mm
|
150
|
|
Prędkość posuwu
|
um/s
|
0.01~100
|
|
Prędkość przewijania
|
mm/min
|
300
|
|
Rozdzielczość
|
um
|
0.1
|
|
Oś robocza
|
Typ
|
-
|
Pod rollingowe
|
ILOŚĆ
|
-
|
1
|
|
Prędkość
|
obr/min
|
0~300
|
|
Typ Przyssawki
|
-
|
Ceramika mikroporowa
|
|
Metoda ssąca wafera
|
-
|
Adsorpcja próżniowa
|
|
Transport wafera
|
-
|
Ręczny
|
|
Inne funkcje
|
Centrowanie wafera
|
-
|
-
|
Czyszczenie wafera
|
-
|
-
|
|
Czyszczenie kubka ssącego
|
-
|
-
|
|
KOŁO SZLIFUJĄCE
|
mm
|
φ300
|
|
ONLINE
pomiar |
Zakres pomiaru
|
um
|
0~1800
|
Rozdzielczość
|
um
|
0.1
|
|
Dokładność powtarzalności
|
um
|
±0,5
|
|
Obróbki
dokładność |
Dokładność wewnątrzwaferowa (TTV)
|
um
|
≤3
|
Dokładność między płytkami (WTW)
|
um
|
±3
|
|
Roughness powierzchni (Ry)
|
um
|
0.13(2000#finish)
|
|
Wygląd
|
Kolorowanie wyglądu
|
um
|
Wzorzec pomarańczowy
|
Wymiary (S×G×W)
|
mm
|
790×2170×1830
|
|
Waga
|
kg
|
1800
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved