Urządzenia dla przemysłu półprzewodnikowego MDLB-MC200 Cleaner mask fotograficznych , China Urządzenia dla przemysłu półprzewodnikowego MDLB-MC200 Cleaner mask fotograficznych Manufacturers, Suppliers, Factory

MDLB-MC200

Oczyszczacz fotomaski

Jednostka oczyszczania:

Kammera do czyszczenia jest przetwarzana z materiałów odpornych na korozyję, które mają gładką powierzchnię i są łatwe w czyszczeniu. Na dole komory znajduje się otwór odpływu odpadów, który wykorzystuje siłę grawitacji, aby umożliwić odpływ cieczy do sieci odprowadzania odpadów zakładu. Wewnątrz komory znajduje się otwór wentylacyjny, który może efektywnie usuwać atmosferę z komory. Wyposażona jest w 3 automatyczne ramiona wahadłowe, które mogą realizować automatyczne czyszczenie.

Tabela parametrów konfiguracji:

- Nie, nie.	Projekt	Specyfikacje	Uwagi
1	Opis Urządzenia	Nazwa urządzenia: Czyszczarka photomaski
		Model urządzenia: MDLB-MC200
		Całkowite wymiary (okoli): 1300mm (S) * 1000mm (G) * 1950mm (W)
		Waga całego urządzenia (okoli): 300KG
		Wysokość stołu operacyjnego: 900 ± 50mm
		Specyfikacje rozmiaru podłoża: odpowiednie dla kwadratowych płyt maskowych o rozmiarach 2/4/5/6/8 cali
		Proces technologiczny: ręczne umieszczenie płytki → czyszczenie (pędzel, roztwór myjący → woda w wysokim ciśnieniu → woda megasoniczna → woda deionizowana → suszenie gazem azotowym) → ręczne usunięcie płytki
		Rodzaj urządzenia: półautomatyczny, ręczne ładowanie i rozładowywanie
2	Konstrukcja urządzenia	Obudowa: nierdzewna stal, gładka, odporna na korozyję, łatwa do czyszczenia
		Kammera do czyszczenia: PP, gładka, odporna na korozyję, łatwa do czyszczenia
		Rurociąg: stosowany jest rurociąg z PU/PFA
		Oświetlenie robocze: antykorozyjne żółte oświetlenie
		Styl otwierania drzwi: Drzwi podwójne z funkcją alarmu przy otwarciu drzwi
		Ekran dotykowy: 10-calowy pełnkolorowy ekran dotykowy * 1
		FFU: Klasa 100
		Wsparcie antywyciekowe: dostępne
3	Silnik serwowy z wysoką precyzją	Ilość: 1
		Prędkość: -3000~3000 obr./min	Obciążenie zerowe
		Maksymalne przyspieszenie obrotu wału: 3000obr./s	Obciążenie zerowe
		Dokładność prędkości: ± 1obr./min (50obr./min~3000obr./min)
		Rozdzielczość prędkości: 1obr./min
4	Automatyczny ramieñ wahadłowy	Ilość: 3
4	Automatyczny ramieñ wahadłowy	Prędkość ramienia wahadłowego: 1~30 °/s
5	Jednostka czyszcząca	Czyszczące ramię wahadłowe: 1 kanał wody jonowej, 1 kanał azotu Megasonic Arm: 1 Megasonic, 1 Wysokie Ciśnienie Wody Ramię szczotkowe: 1 szczotka, 1 woda, 1 roztwór czystący
		Metoda czyszczenia: automatyczne czyszczenie
		Funkcja ssania wody jonowej: dostępna
		Przypłukanie (woda jonowa): 1 trasa
		Metoda dostarczania: Roztwór czystący: Pompowanie membranowe Woda jonowa: dostarczana bezpośrednio przez zakład produkcyjny
		Czarny zbiornik z wykrywaniem poziomu cieczy
6	Szczotka do mycia	Ilość: 1 (z funkcją samoczyszczenia)
		Prędkość: do 1000 obr./min, regulowalna
		Wysokość调节 ręcznie
7	Podkład na ładunek	Ilość: 5
		Materiał: PPS + nierdzewna stal
		Rozmiar: Nadaje się do maski kwadratowej o wymiarach 2/4/5/6/8 cali
		Metoda przytrzymywania podłoża: Metoda kleszczy
8	System sterowania	System sterowania: Używanie sterownika PLC
		Program: 100 grup, każda składająca się z 100 kroków, maksymalny czas pojedynczego kroku wynosi 3000.0 sekund Dokładność: 0,1S
		Program może być zapisywany, wywoływany, modyfikowany i usuwany
		Ustaw uprawnienia szyfrowania: dla operatorów urządzenia, techników, administratorów oraz producentów odpowiednio
		Typ wieży sygnałowej: czerwony, żółty, zielony 3 kolory