Przemysł półprzewodników Maszyna kasetowa do usuwania PR wsadowego w plazmie Usuwanie pozostałości fotorezystu, Chiny Przemysł półprzewodników Maszyna kasetowa do usuwania PR wsadowego w plazmie Usuwanie pozostałości fotorezystu Producenci, dostawcy, fabryka

opis produktu

Typ kasetowy Wsadowa maszyna do usuwania plazmy PR

DESCUM
Czyszczenie wafli
Usuwanie resztek kleju po procesie na mokro
Usuwanie pozostałości z powierzchni
Usunąć pozostałości kleju po naświetleniu i wywołaniu

Przemysł półprzewodników Typ kasetowy Maszyna do usuwania pozostałości plazmy PR w trybie wsadowym Produkcja fotorezystu do usuwania pozostałości

Przetwarzanie

Przemysł półprzewodników Typ kasetowy Maszyna do usuwania pozostałości plazmy PR w trybie wsadowym Fabryka usuwania pozostałości fotorezystu

Przemysł półprzewodników Typ kasetowy Maszyna do usuwania pozostałości plazmy PR w trybie wsadowym Fotorezyst Szczegóły usuwania pozostałości

Przemysł półprzewodników Typ kasetowy Maszyna do usuwania pozostałości plazmy PR w trybie wsadowym Dostawca fotomaski do usuwania pozostałości

Korzyść:

Podstawowa zaleta

Wysoka szybkość odśluzowywania: plazma o dużej gęstości, szybka szybkość odśluzowywania
Stabilność: Po obróbce plazmowej, wysoka powtarzalność
Odległa plazma: Odległa plazma, uszkodzenie płytki przez niskie jony
Polecane oprogramowanie: niezależne badania i rozwój oprogramowania, intuicyjna animacja procesów, szczegółowe dane i zapisy
Jednolitość: Plazma może kontrolować ciśnienie i temperaturę poprzez zawór motylkowy
Współczynnik bezpieczeństwa: Niska plazma zmniejsza uszkodzenia spowodowane wyładowaniem produktu.
Obsługa posprzedażna: szybka reakcja i wystarczające zapasy
Kontrola zapylenia: Spełnij wymagania klienta.
Podstawowa technologia: prawie 40% członków zespołu badawczo-rozwojowego

Platforma kasetowa (MD-ST 6100/620)

1. 4 nośniki wafli
2. Wysoka kompatybilność: elastyczność wyboru rozmiaru płytki zapewnia wysoki koszt i efektywność rozwiązania
3. Komora przenoszenia próżniowego o wysokiej stabilności:
Dojrzała i stabilna konstrukcja przekładni podciśnieniowej jest stosowana na rynku od wielu lat i cieszy się dużym uznaniem klientów.
Konstrukcja gramofonu, kompaktowa przestrzeń, znacznie zmniejszająca ryzyko CZĘŚCI
4. Humanizowany interfejs obsługi oprogramowania:
Intuicyjny, humanizowany interfejs obsługi oprogramowania, monitorowanie stanu pracy maszyny w czasie rzeczywistym;
Wszechstronne funkcje alarmowe i niezawodne, zapobiegające nieprawidłowemu działaniu.
Potężna funkcja eksportu danych, rejestracja różnych parametrów procesu i eksport dokumentacji produkcyjnej produktu.

Robot

1. Jednorazowa konstrukcja z podwójnym pobieraniem i umieszczaniem płytek zapewnia wysoką produktywność
2. Popraw efektywność wykorzystania przestrzeni.

Płyta grzewcza

1. Płyta waflowa o wysokiej precyzji kontroli temperatury
Płyta grzewcza waflowa od temperatury pokojowej do 250°C, dokładność regulacji temperatury ±1°C
Płyta grzewcza waflowa została skalibrowana za pomocą profesjonalnych instrumentów i jednorodności. W granicach ±3°C należy zapewnić równomierność usuwania kleju
2. Jednokomorowa obróbka płytek podwójnych
Jednokomorowa konstrukcja z podwójną płytką;
Niezależny projekt rozładowania mocy dla każdego płytki, zapewniający, że każdy płytka. Okrągły efekt usuwania PR;
Zakładając zapewnienie wydajności UPH, obniż koszty produktu. Silna kompatybilność
3. Zdolność produkcyjna: dwuczęściowa komora reakcyjna, wysoka wydajność produkcji.

Specyfikacja

Źródło PLAZMA	RF	kuchenka mikrofalowa
Power	1000w	1250w
Zakres zastosowania	4 ~ 8 cal	4~8°
Liczba plasterków pojedynczego przetwarzania	4 ~ 6 cali = 50 sztuk/8 cali = 25 sztuk	4 ~ 6 cali = 50 sztuk/8 cali = 25 sztuk
Wymiary wyglądu	1250x1630x1900mm	1250x1630x1900mm
Kontrola systemu	PC	PC
Poziom automatyzacji	Automatyczna	Automatyczna

Możliwości sprzętowe
Czas pracy/dostępny	≧ 95%
Średni czas czyszczenia (MTTC)	≦6 godzin
Średni czas naprawy (MTTR)	≦4 godzin
Średni czas między awariami (MTBF)	≧350 godzin
Średni czas między asystentami (MTBA)	≧24 godzin
Średni wafel pomiędzy uszkodzonymi （MWBB）	≦1 na 10,000 XNUMX płytek
Sterowanie płytą grzewczą	50-250 °

Sprawozdanie z badań

Fabryka Zobacz

Pakowanie i dostawa

Profil firmy

Mamy 16 lat doświadczenia w sprzedaży sprzętu. Możemy zapewnić Ci kompleksowe rozwiązanie w zakresie frontonu i zaplecza w zakresie urządzeń półprzewodnikowych z Chin!