Przemysł półprzewodnikowy Maszyna kasetowa typu Batch plazmowa do usuwania PR poza linią produkcyjną Usuwanie pozostałości fotorezystu, Chiny Przemysł półprzewodnikowy Maszyna kasetowa typu Batch plazmowa do usuwania PR poza linią produkcyjną Usuwanie pozostałości fotorezystu Producenci, dostawcy, fabryka

opis produktu

Plazma wsadowa typu kasetowego Środek do usuwania fotorezystu

DESCUM
Czyszczenie wafli
Usuwanie resztek fotomaski po procesie na mokro
Usuwanie pozostałości z powierzchni
Usuń pozostałości fotorezystu po naświetleniu i wywołaniu

Przemysł półprzewodników Typ kasety Wsadowy plazmowy środek do usuwania PR maszyna off-line Fotorezyst Szczegóły usuwania pozostałości

Przetwarzanie

Przemysł półprzewodników Typ kasetowy Wsadowy plazmowy środek do usuwania PR maszyna off-line Dostawca fotorezystu do usuwania pozostałości

Przemysł półprzewodników Typ kasetowy Wsadowa maszyna do usuwania PR w plazmie Maszyna off-line Fotomaska Produkcja usuwania pozostałości

Przemysł półprzewodników Typ kasetowy Wsadowy plazmowy preparat do usuwania PR maszyna off-line Fotomaska Fabryka usuwania pozostałości

Korzyść:

Podstawowa zaleta

Wysoka szybkość odśluzowywania: plazma o dużej gęstości, szybka szybkość odśluzowywania
Stabilność: Po obróbce plazmowej, wysoka powtarzalność
Odległa plazma: Odległa plazma, uszkodzenie płytki przez niskie jony
Polecane oprogramowanie: niezależne badania i rozwój oprogramowania, intuicyjna animacja procesów, szczegółowe dane i zapisy
Jednolitość: Plazma może kontrolować ciśnienie i temperaturę poprzez zawór motylkowy
Współczynnik bezpieczeństwa: Niska plazma zmniejsza uszkodzenia spowodowane wyładowaniem produktu.
Obsługa posprzedażna: szybka reakcja i wystarczające zapasy
Kontrola zapylenia: Spełnij wymagania klienta.
Podstawowa technologia: prawie 40% członków zespołu badawczo-rozwojowego

Platforma kasetowa (MD-ST 6100/620)

1. 4 nośniki wafli
2. Wysoka kompatybilność: elastyczność wyboru rozmiaru płytki zapewnia wysoki koszt i efektywność rozwiązania
3. Komora przenoszenia próżniowego o wysokiej stabilności:
Dojrzała i stabilna konstrukcja przekładni podciśnieniowej jest stosowana na rynku od wielu lat i cieszy się dużym uznaniem klientów.
Konstrukcja gramofonu, kompaktowa przestrzeń, znacznie zmniejszająca ryzyko CZĘŚCI
4. Humanizowany interfejs obsługi oprogramowania:
Intuicyjny, humanizowany interfejs obsługi oprogramowania, monitorowanie stanu pracy maszyny w czasie rzeczywistym;
Wszechstronne funkcje alarmowe i niezawodne, zapobiegające nieprawidłowemu działaniu.
Potężna funkcja eksportu danych, rejestracja różnych parametrów procesu i eksport dokumentacji produkcyjnej produktu.

Robot

1. Jednorazowa konstrukcja z podwójnym pobieraniem i umieszczaniem płytek zapewnia wysoką produktywność
2. Popraw efektywność wykorzystania przestrzeni.

Płyta grzewcza

1. Płyta waflowa o wysokiej precyzji kontroli temperatury
Płyta grzewcza waflowa od temperatury pokojowej do 250°C, dokładność regulacji temperatury ±1°C
Płyta grzewcza waflowa została skalibrowana za pomocą profesjonalnych instrumentów i jednorodności. W granicach ±3°C należy zapewnić równomierność usuwania kleju
2. Jednokomorowa obróbka płytek podwójnych
Jednokomorowa konstrukcja z podwójną płytką;
Niezależny projekt rozładowania mocy dla każdego płytki, zapewniający, że każdy płytka. Okrągły efekt usuwania PR;
Zakładając zapewnienie wydajności UPH, obniż koszty produktu. Silna kompatybilność
3. Zdolność produkcyjna: dwuczęściowa komora reakcyjna, wysoka wydajność produkcji.

Specyfikacja

Źródło PLAZMA	RF	kuchenka mikrofalowa
Power	1000w	1250w
Zakres zastosowania	4~8°	4~8°
Liczba plasterków pojedynczego przetwarzania	4-6 cali = 50 sztuk/8 cali = 25 sztuk	4-6 cali = 50 sztuk/8 cali = 25 sztuk
Wymiary wyglądu	1000x850x1700mm	1000x850x1700mm
Kontrola systemu	PC	PC
Poziom automatyzacji	Instrukcja obsługi	Instrukcja obsługi

Możliwości sprzętowe
Czas pracy/dostępny	≧ 95%
Średni czas czyszczenia (MTTC)	≦6 godzin
Średni czas naprawy (MTTR)	≦4 godzin
Średni czas między awariami (MTBF)	≧350 godzin
Średni czas między asystentami (MTBA)	≧24 godzin
Średni wafel pomiędzy uszkodzonymi （MWBB）	≦1 na 10,000 XNUMX płytek
Sterowanie płytą grzewczą	50-250 °

Sprawozdanie z badań

Fabryka Zobacz

Pakowanie i dostawa

Profil firmy

Mamy 16 lat doświadczenia w sprzedaży sprzętu. Możemy zapewnić Ci kompleksowe rozwiązanie w zakresie frontonu i zaplecza w zakresie urządzeń półprzewodnikowych z Chin!