Przemysł półprzewodnikowy Urządzenie do usuwania PR typu ICP PLASMA Usuwanie resztek fotooporu , China Przemysł półprzewodnikowy Urządzenie do usuwania PR typu ICP PLASMA Usuwanie resztek fotooporu Manufacturers, Suppliers, Factory

Opis produktu

ICP PLASMA Usuwanie fotooporu

zapiekany
Usuwanie polimerów
Suche usuwanie warstwy twardzego maskującego
Usuwanie fotooporu po implantacji jonów
Usuwanie fotooporu w procesie BAW/SAW
Suche czystenie warstwy antyrefleksyjnego filmu graficznego
Usuwanie resztek z powierzchni
Czyszczenie powierzchni po etchingu
DESCUM

Semiconductor industry ICP PLASMA PR removal machine Photoresist Residual Removal manufacture

Proces

Semiconductor industry ICP PLASMA PR removal machine Photoresist Residual Removal factory

Zaleta:

podstawowa zaleta

Wysoki stopień degumowania: gęsta plazma, szybki stopień degumowania
Stabilność: Po leczeniu plazmowym, wysoka powtarzalność
Plazma zdalna: Plazma zdalna, niskie uszkodzenia jonowe płytki
Oprogramowanie charakterystyczne: niezależne badania i rozwój oprogramowania, intuicyjna animacja procesu, szczegółowe dane i rekordy
Jednorodność: Plazma może kontrolować ciśnienie i temperaturę za pomocą zaworu motylkowego
Czynnik bezpieczeństwa: Niska plazma zmniejsza uszkodzenia wydzielane produkty.
Obsługa po sprzedaży: Szybka odpowiedź i dostateczne zapasy
Kontrola pyłu: Spełnia wymagania klientów.
Technologia rdzeniowa: Z blisko 40% członków zespołu R&D

Platforma kaset (MD-ST 6100/620)

1. 4 Nośniki Płytek
2. Wysoka zgodność: elastyczność wyboru rozmiaru talerza przynosi wysoką efektywność kosztów i rozwiązania
3. Komora próżniowa o wysokiej stabilności:
Dojrzały i stabilny projekt transmisji próżniowej jest od lat pomyślnie stosowany na rynku i wysoko ceniony przez klientów.
Projekt tacy, kompaktowy układ, znacząco zmniejszający ryzyko PARTIKAL
4. Przyjazne interfejsy operacyjne oprogramowania:
Intuitywny i ergonomiczny interfejs oprogramowania, monitorowanie w czasie rzeczywistym stanu działania maszyny;
Pełne funkcje alarmowe i antybłędowe, które uniemożliwiają niepoprawne działania.
Mocna funkcja eksportu danych, rejestrowanie różnych parametrów procesowych oraz eksportowanie rekordów produkcji produktów.

Semiconductor industry ICP PLASMA PR removal machine Photoresist Residual Removal supplier

Semiconductor industry ICP PLASMA PR removal machine Photoresist Residual Removal details

Robot

1. Projekt jednoczesnego pobierania i umieszczania dwóch talerzy przynosi wysoką produktywność
2. Zwiększenie efektywności przestrzennej.

Płyta grzewcza

1. Precyzyjna kontrola temperatury płytki waferowej
Płyta grzejna waferów od temperatury pokojowej do 250°C, dokładność kontroli temperatury ±1°C
Płyta grzejna waferów została skalibrowana za pomocą profesjonalnych przyrządów, a jednorodność wynosi w granicach ±3°C, co gwarantuje jednolite usuwanie kleju
2. Przetwarzanie pojedynczych komor dwuwaferowych
Projekt pojedynczej komory z dwoma waferami;
Niezależny projekt wydzielania mocy dla każdego wafera, zapewniający efektywne usunięcie PR z każdego wafera;
W warunkach zapewnienia wydajności UPH, obniżenie kosztów produkcyjnych. Wysoka zgodność
3. Pojemność produkcyjna: komora reakcyjna o konstrukcji dwupoziomowej, wysoka wydajność produkcyjna.

Specyfikacja

Węgiel			RF	RF
Moc	ICP	1000 W	1000 W
Moc		BIAS	600w(opcja)	600w(opcja)
Zakres zastosowań			4~8 cal	4~8 cal
Liczba pojedynczych wycinków do przetworzenia			1	2
Wymiary zewnętrzne			1080x1840x1800mm	1340x2050x1800mm
System sterowania			System Sterowania Przemysłowego	System Sterowania Przemysłowego
Poziom automatyzacji			automatyczna	automatyczna

Możliwości sprzętowe
Czas pracy/Czas dostępności	≧95%
Średni czas czyszczenia (MTTC)	≦6 godzin
Średni czas naprawy (MTTR)	≦4 godziny
Średni czas między awariami (MTBF)	≧350 godzin
Średni czas między asystencjami (MTBA)	≧24 godziny
Średni krążek pomiędzy uszkodzeniami (MWBB)	≦1 na 10 000 waferów
Sterowanie płytą grzewczą	50-250°

Raport testowy

Widok fabryczny

Pakowanie i Dostawa

Profil Firmy

Mamy 16 lat doświadczenia w sprzedaży equipmentów. Możemy zaproponować Ci kompleksowe rozwiązania w zakresie wyposażenia linii produkcyjnych dla półprzewodników, zarówno etapu front-end, jak i back-end z Chin!