Przemysł półprzewodnikowy ICP PLASMA PR maszyna do usuwania pozostałości fotorezystu, Chiny Przemysł półprzewodnikowy ICP PLASMA PR maszyna do usuwania pozostałości fotorezystu Producenci, dostawcy, fabryka

opis produktu

Zmywacz fotomaski ICP PLASMA

POPIÓŁ
Usuwanie polimeru
Usuwanie na sucho twardej warstwy maski
Usuwanie fotorezystu po implantacji jonów
Usuwanie fotorezystu w procesie BAW/SAW
Czyszczenie chemiczne antyrefleksyjnej warstwy folii graficznej
Usuwanie pozostałości z powierzchni
Oczyszczenie powierzchni po trawieniu
DESCUM

Przemysł półprzewodników Maszyna do usuwania ICP PLASMA PR Produkcja fotomaski do usuwania pozostałości

Przetwarzanie

Przemysł półprzewodników Maszyna do usuwania ICP PLASMA PR Fabryka usuwania pozostałości fotorezystu

Korzyść:

Podstawowa zaleta

Wysoka szybkość odśluzowywania: plazma o dużej gęstości, szybka szybkość odśluzowywania
Stabilność: Po obróbce plazmowej, wysoka powtarzalność
Odległa plazma: Odległa plazma, uszkodzenie płytki przez niskie jony
Polecane oprogramowanie: niezależne badania i rozwój oprogramowania, intuicyjna animacja procesów, szczegółowe dane i zapisy
Jednolitość: Plazma może kontrolować ciśnienie i temperaturę poprzez zawór motylkowy
Współczynnik bezpieczeństwa: Niska plazma zmniejsza uszkodzenia spowodowane wyładowaniem produktu.
Obsługa posprzedażna: szybka reakcja i wystarczające zapasy
Kontrola zapylenia: Spełnij wymagania klienta.
Podstawowa technologia: prawie 40% członków zespołu badawczo-rozwojowego

Platforma kasetowa (MD-ST 6100/620)

1. 4 nośniki wafli
2. Wysoka kompatybilność: elastyczność wyboru rozmiaru płytki zapewnia wysoki koszt i efektywność rozwiązania
3. Komora przenoszenia próżniowego o wysokiej stabilności:
Dojrzała i stabilna konstrukcja przekładni podciśnieniowej jest stosowana na rynku od wielu lat i cieszy się dużym uznaniem klientów.
Konstrukcja gramofonu, kompaktowa przestrzeń, znacznie zmniejszająca ryzyko CZĘŚCI
4. Humanizowany interfejs obsługi oprogramowania:
Intuicyjny, humanizowany interfejs obsługi oprogramowania, monitorowanie stanu pracy maszyny w czasie rzeczywistym;
Wszechstronne funkcje alarmowe i niezawodne, zapobiegające nieprawidłowemu działaniu.
Potężna funkcja eksportu danych, rejestracja różnych parametrów procesu i eksport dokumentacji produkcyjnej produktu.

Przemysł półprzewodników Maszyna do usuwania ICP PLASMA PR Dostawca fotomaski do usuwania pozostałości

Przemysł półprzewodników Maszyna do usuwania ICP PLASMA PR Szczegóły usuwania pozostałości fotorezystu

Robot

1. Jednorazowa konstrukcja z podwójnym pobieraniem i umieszczaniem płytek zapewnia wysoką produktywność
2. Popraw efektywność wykorzystania przestrzeni.

Płyta grzewcza

1. Płyta waflowa o wysokiej precyzji kontroli temperatury
Płyta grzewcza waflowa od temperatury pokojowej do 250°C, dokładność regulacji temperatury ±1°C
Płyta grzewcza waflowa została skalibrowana za pomocą profesjonalnych instrumentów i jednorodności. W granicach ±3°C należy zapewnić równomierność usuwania kleju
2. Jednokomorowa obróbka płytek podwójnych
Jednokomorowa konstrukcja z podwójną płytką;
Niezależny projekt rozładowania mocy dla każdego płytki, zapewniający, że każdy płytka. Okrągły efekt usuwania PR;
Zakładając zapewnienie wydajności UPH, obniż koszty produktu. Silna kompatybilność
3. Zdolność produkcyjna: dwuczęściowa komora reakcyjna, wysoka wydajność produkcji.

Specyfikacja

OSOCZE			RF	RF
Power	ICP	1000w	1000w
Power		BIAS	600w (opcja)	600w (opcja)
Zakres zastosowania			4 ~ 8 cal	4 ~ 8 cal
Liczba plasterków pojedynczego przetwarzania			1	2
Wymiary wyglądu			1080x1840x1800mm	1340x2050x1800mm
Kontrola systemu			Przemysłowy system sterowania	Przemysłowy system sterowania
Poziom automatyzacji			automatyczny	automatyczny

Możliwości sprzętowe
Czas pracy/dostępny	≧ 95%
Średni czas czyszczenia (MTTC)	≦6 godzin
Średni czas naprawy (MTTR)	≦4 godzin
Średni czas między awariami (MTBF)	≧350 godzin
Średni czas między asystentami (MTBA)	≧24 godzin
Średni wafel pomiędzy uszkodzonymi （MWBB）	≦1 na 10,000 XNUMX płytek
Sterowanie płytą grzewczą	50-250 °

Sprawozdanie z badań

Fabryka Zobacz

Pakowanie i dostawa

Profil firmy

Mamy 16 lat doświadczenia w sprzedaży sprzętu. Możemy zapewnić Ci kompleksowe rozwiązanie w zakresie frontonu i zaplecza w zakresie urządzeń półprzewodnikowych z Chin!