Projekt |
Treść |
Rodzaj produktu |
Wafel 6", 8", 12", opakowanie 2.5D/3D |
Inspekcja 2D szt |
Ciała obce, resztki kleju, cząsteczki, zarysowania, pęknięcia, zanieczyszczenia, odchylenia CP, nadmierne ślady igieł, itp. |
Metrologia 2D |
Średnica wypukłości, współrzędne śladu igły, pomiary RDL i TSV itp. |
Projekt inspekcji 3D |
Wysokość wypukłości, współpłaszczyznowość wypukłości |
Kaseta i metoda transmisji |
8"SMIF, 12" FOUP lub kombinacja |
Obiektyw i rozdzielczość |
2x(2.75um)13.5x(1.57um)5x(1.1um)17.5x(0.73um)110x(0.55um) |
Detaliczność |
0.55um/piksel |
Opcjonalne i dostosowane |
Dwustronny moduł OCR, 3D, obsługiwany przez E84 |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Wszelkie prawa zastrzeżone.