Projekt
|
Treść
|
Rodzaj produktu
|
Wafel 6", 8", 12", opakowanie 2.5D/3D
|
Inspekcja 2D
szt |
Ciała obce, resztki kleju, cząsteczki, zarysowania, pęknięcia, zanieczyszczenia, odchylenia CP, nadmierne ślady igieł, itp.
|
Metrologia 2D
|
Średnica wypukłości, współrzędne śladu igły, pomiary RDL i TSV itp.
|
Projekt inspekcji 3D
|
Wysokość wypukłości, współpłaszczyznowość wypukłości
|
Kaseta i metoda transmisji
|
8"SMIF, 12" FOUP lub kombinacja
|
Obiektyw i rozdzielczość
|
2x(2.75um)13.5x(1.57um)5x(1.1um)17.5x(0.73um)110x(0.55um)
|
Detaliczność
|
0.55um/piksel
|
Opcjonalne i dostosowane
|
Dwustronny moduł OCR, 3D, obsługiwany przez E84
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Wszelkie prawa zastrzeżone.