Parametrów technicznych | Tryb pomiaru | PSI/VSI/super głębia ostrości/jasne pole |
Pojedyncze pole widzenia pomiaru (obiektyw 20×) | 500*350μm (automatyczne szycie) | |
Regulacja kąta | ±12° ręcznie | |
Regulacja w osi Z | 20mm elektryczny + 50mm manualny (mechanizm regulacji zgrubnej i precyzyjnej) | |
Zakres skanowania wzdłużnego | 0-10mm | |
Rozdzielczość podłużna | <0.2nm | |
Powtarzalność pomiaru chropowatości wzdłużnej | 0.01 nm (tryb PSI) | |
błąd wskazania wysokości stopnia pomiary | <0.75% (tryb VSI) | |
Rozdzielczość boczna: @550nm | 0.69μm (obiektyw 20×) | |
Mierzalna refleksyjność próbki | 0.1%-100% | |
Czas pomiaru | <5s (tryb PSI) | |
Funkcja analizy | Funkcja analizy | Pomiar wysokości 3D, analiza chropowatości 3D, pomiar wymiarów 2D |
Wyjście danych 3D | Dane chmury punktów 3D, dane obrazu w skali szarości, raport niestandardowy |
Obiektywne powiększenie | 2.5x | 5x | 10x | 20x | 50x | 100x |
Apertura numeryczna | 0.075 | 0.13 | 0.3 | 0.4 | 0.55 | 0.7 |
Rozdzielczość optyczna @550nm (μm) | 3.7 | 2.1 | 0.92 | 0.69 | 0.5 | 0.4 |
Głębia ostrości (μm) | 48.7 | 16.2 | 3.04 | 1.71 | 0.9 | 0.56 |
Odległość robocza (mm) | 10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2.0 |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Wszelkie prawa zastrzeżone.