Parametry techniczne |
Tryb pomiaru |
PSI/VSI/super gleboka ostrosc/bright field |
Pole widzenia pojedynczego pomiaru (obiektyw 20×) |
500*350μm (automatyczne sklejanie) |
|
Dostosowanie kąta |
±12° ręczne |
|
Dostosowanie osi Z |
20mm elektrycznie + 50mm ręcznie (mechanizm grubego i precyzyjnego dostosowania) |
|
Zakres skanowania pionowego |
0-10mm |
|
Rozdzielczosc pionowa |
<0.2nm |
|
Powtarzalność pomiaru szorstkości osiowej |
0.01nm (tryb PSI) |
|
błąd wskazania wysokości schodu pomiar |
<0.75% (tryb VSI) |
|
Wzorcowa rozdzielczość boczna: @550nm |
0.69μm (obiektyw 20×) |
|
Mierzalna odbijalność próbki |
0.1%-100% |
|
Czas pomiaru |
<5s (tryb PSI) |
|
Funkcja analizy |
Funkcja analizy |
pomiar wysokości w 3D, analiza szorstkości w 3D, pomiar wymiarów w 2D |
wyjście danych w 3D |
dane chmury punktów w 3D, dane obrazu w odcieniach szarości, dostosowany raport |
Wzmocnienie obiektywu |
2.5X |
5x |
10x |
20x |
50x |
100x |
Numeryczna przysłona |
0.075 |
0.13 |
0.3 |
0.4 |
0.55 |
0.7 |
Rozdzielczość optyczna @550nm (μm) |
3.7 |
2.1 |
0.92 |
0.69 |
0.5 |
0.4 |
Głębokość ostrości (μm) |
48.7 |
16.2 |
3.04 |
1.71 |
0.9 |
0.56 |
Odległość robocza (mm) |
10.3 |
9.3 |
7.4 |
4.7 |
3.4 |
2.0 |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved