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projeto
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Especificações
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observações
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1 |
Visão geral do equipamento |
Nome do equipamento: Máquina reveladora de cola uniforme totalmente automática
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Modelo do equipamento: MD-2C2D6
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Especificações de processamento de wafer: compatível com wafers padrão de 4/6 polegadas
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Fluxo do processo de cola uniforme: Corte da cesta de flores → centralização → cola uniforme (gotejamento → cola uniforme → remoção de borda, parte traseira
lavagem) → placa quente → placa fria → colocação do cesto Fluxo do processo de desenvolvimento: Fatiamento da cesta de flores → centralização → desenvolvimento (solução de desenvolvimento → água deionizada, retrolavagem → secagem com nitrogênio) → placa quente → placa fria → colocação do cesto |
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Tamanho total (aproximadamente): 2100 mm (L) * 1800 mm (P) * 2100 mm (A)
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Tamanho do gabinete químico (aproximadamente): 1700(W) * 800(D) * 1600mm (H)
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Peso total (aproximadamente):1000kg
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Altura da bancada: 1020 ± 50mm
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2 |
Unidade cassete
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Quantidade: 2
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Tamanho compatível: 4/6 polegadas
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Detecção de cassete: detecção de microinterruptor
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Detecção de deslizamento: Sim, sensor reflexivo
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3 |
robô |
Quantidade: 1
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Tipo: robô de adsorção a vácuo de braço duplo
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Grau de liberdade: 4 eixos (R1, R2, Z, T)
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Material do dedo: cerâmica
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Método de fixação de substrato: método de adsorção a vácuo
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Função de mapeamento: Sim
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Precisão de posicionamento: ± 0.1 mm
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4 |
Unidade de centralização
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Quantidade: 1
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Alinhamento óptico opcional
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Método de alinhamento: alinhamento mecânico
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Precisão de centralização: ± 0.2 mm
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5 |
Unidade de cola uniforme |
Quantidade: 2 conjuntos (a seguir estão as configurações para cada unidade)
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Velocidade de rotação do eixo: -5000 rpm ~ 5000 rpm
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carregando ocioso
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Precisão de rotação do fuso: ± 1 rpm (50 rpm ~ 5000 rpm)
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Ajuste mínimo da velocidade de rotação do fuso: 1rpm
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Aceleração máxima de rotação do fuso: 20000 rpm/s
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carregando ocioso
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Braço de gotejamento: 1 conjunto
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Rota do tubo fotorresistente: 2 rotas
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Diâmetro do bico fotorresistente: 2.5 mm
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Isolamento fotorresistente: 23 ± 0.5 ℃
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opcional
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Bocal hidratante: Sim
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RRC: Sim
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Tampão: Sim, 200ml
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Método de queda de cola: queda central e queda de digitalização são opcionais
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Braço de remoção de borda: 1 conjunto
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Diâmetro do bocal de remoção de borda: 0.2 mm
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Monitoramento de fluxo de líquido para remoção de bordas: medidor de vazão flutuante
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Faixa de fluxo do líquido de remoção de bordas: 5-50ml/min
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Pipeline de retrolavagem: 2 vias (4/6 polegadas cada com 1 canal)
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Monitoramento de fluxo de retrolavagem: medidor de vazão flutuante
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Faixa de fluxo de fluido de retrolavagem: 20-200ml/min
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Método de fixação de chip: mandril de adsorção a vácuo de pequena área
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Alarme de pressão de vácuo: sensor digital de pressão de vácuo
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Material do mandril: PPS
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Material do copo: PP
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Monitoramento de exaustão do copo: sensor de pressão digital
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6 |
Unidade de desenvolvimento |
Obturador: sim
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Quantidade: 2 conjuntos (a seguir estão as configurações para cada unidade)
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Velocidade de rotação do eixo: -5000 rpm ~ 5000 rpm
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carregando ocioso
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Precisão de rotação do fuso: ± 1 rpm (50 rpm ~ 5000 rpm)
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Ajuste mínimo da velocidade de rotação do fuso: 1rpm
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Aceleração máxima de rotação do fuso: 20000 rpm/s
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carregando ocioso
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Braço em desenvolvimento: 1 conjunto
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Pipeline de desenvolvimento: 2 vias (bocal em forma de leque/colunar)
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Filtragem do revelador: 0.2um
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Controle de temperatura do desenvolvedor: 23 ± 0.5 ℃
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opcional
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Faixa de fluxo de solução em desenvolvimento: 100 ~ 1000 ml/min
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Modo de movimento do braço em desenvolvimento: ponto fixo ou varredura
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Braço de fusão: 1 conjunto
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Tubulação de água deionizada: 1 circuito
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Diâmetro do bocal de água deionizada: 4mm (diâmetro interno)
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Faixa de fluxo de água deionizada: 100 ~ 1000 ml/min
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Tubulação de secagem de nitrogênio: 1 circuito
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Diâmetro do bocal de nitrogênio: 4mm (diâmetro interno)
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Faixa de fluxo de nitrogênio: 5-50L/min
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Revelador, água deionizada, monitoramento de fluxo de nitrogênio: medidor de vazão flutuante
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Pipeline de retrolavagem: 2 vias (4/6 polegadas cada com 1 canal)
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Monitoramento de fluxo de retrolavagem: medidor de vazão flutuante
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Faixa de fluxo de fluido de retrolavagem: 20-200ml/min
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Método de fixação de chip: mandril de adsorção a vácuo de pequena área
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Alarme de pressão de vácuo: sensor digital de pressão de vácuo
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Material do mandril: PPS
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|
Material do mandril: PPS
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Material do copo: PP
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Monitoramento de exaustão do copo: sensor de pressão digital
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7 |
Unidade de pegajosidade |
Quantidade: 2
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opcional
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Faixa de temperatura: temperatura ambiente ~ 180 ℃
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Uniformidade de temperatura: Temperatura ambiente ~ 120 ℃± 0.75 ℃
120.1°C ~ 180°C ± 1.5°C (Remova 10 mm da borda, exceto o orifício do pino ejetor) |
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Quantidade mínima de ajuste: 0.1 ° C
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Método de controle de temperatura: ajuste PID
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Faixa de altura do PIN: 0-20mm
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Material do PIN: corpo SUS304, tampa do pino PIN PI
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Diferença de cozimento: 0.2 mm
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Alarme de sobretemperatura: alarme de desvio positivo e negativo
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Método de fornecimento: Borbulhamento, 10 ± 2ml/min
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Vácuo de operação da câmara: -5-20KPa
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8 |
Unidade de placa quente |
Quantidade: 10
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Faixa de temperatura: temperatura ambiente ~ 250 ℃
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Uniformidade de temperatura: Temperatura ambiente ~ 120 ℃± 0.75 ℃
120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ 180.1℃~250℃ ±2.0℃ (Remova 10 mm da borda, exceto o orifício do pino ejetor) |
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Quantidade mínima de ajuste: 0.1 ℃
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|
Método de controle de temperatura: ajuste PID
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Faixa de altura do PIN: 0-20mm
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Material do PIN: corpo SUS304, tampa do pino PIN PI
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Diferença de cozimento: 0.2 mm
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Alarme de sobretemperatura: alarme de desvio positivo e negativo
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9 |
Unidade de placa fria
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Quantidade: 2
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Faixa de temperatura: 15-25 ℃
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Método de resfriamento: resfriamento da bomba circulante de temperatura constante
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10 |
Fornecimento de produtos químicos |
Armazenamento fotorresistente: bomba de cola pneumática * 4 conjuntos (tanque opcional ou bomba de cola elétrica)
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Volume de distribuição de cola: máximo 12ml por sessão, precisão ± 0.2ml
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Remoção de borda/lavagem traseira/fornecimento de RRC: tanque de pressão de 18L * 2 (reabastecimento automático)
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Remoção de bordas/lavagem traseira/monitoramento de nível de líquido RRC: sensor fotoelétrico
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Monitoramento de nível de líquido fotorresistente: sensor fotoelétrico
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Descarga de líquido residual adesivo uniforme: tanque de líquido residual de 10L
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Fornecimento do desenvolvedor: tanque de pressão de 18L * 4 (armazenado no gabinete químico fora da máquina)
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Fornecimento de água deionizada: fornecimento direto da fábrica
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Desenvolvimento de monitoramento de nível de líquido: sensor fotoelétrico
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Descarga de resíduos do desenvolvedor: descarga de resíduos de fábrica
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Fornecimento de tackifier: tanque de pressão 10L * 1, tanque de pressão 2L * 1
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Monitoramento de nível do tackifier: sensor fotoelétrico
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11 |
sistema de controlo |
Método de controle: PLC
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Interface de operação homem-máquina: tela sensível ao toque de 17 polegadas
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Fonte de alimentação ininterrupta (UPS): Sim
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Defina permissões de criptografia para operadores, técnicos e administradores de dispositivos
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Tipo de torre de sinal: vermelho, amarelo, verde 3 cores
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12 |
Indicadores de confiabilidade do sistema
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Tempo de atividade: ≥95%
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MTBF: ≥ 500h
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MTTR: ≤ 4h
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MTBA: ≥24h
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Taxa de fragmentação: ≤ 1/10000
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13 |
Outras funções
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Luz amarela: 4 conjuntos (posição: acima da unidade de mistura e desenvolvimento de cola)
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THC: Sim, 22.5 ℃± 0.5 ℃, 45% ± 2%
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opcional
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FFU: Classe 100, 5 conjuntos (unidade de processo e área ROBÔ)
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Empresa: Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Todos os direitos reservados
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NÃO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
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LT
SR
SL
UK
VI
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HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
