Reaktif iyon aşındırma sistemi
Müşteriler için Profesyonelce Özelleştirilmiş Çözümler Sağlayın
Çift hazneli RIE (Cl₂) özelleştirmesi
Şubat 2024'te bir müşterimizden 100mm'lik wafer Klor prosesi için bir talep aldık.
Bu bizim için ilginç bir uygulama çünkü gerekli proses gazı zehirli gazlar Cl2 ve BCl3 içeriyor. Güvenlik sorunlarından kaçınmak için makinenin tüm yapılandırmalarını iyileştirmemiz gerekiyor ve proses gereksinimlerini karşılarken operatörü mükemmel şekilde korumak için proses odası ve transfer odasının çift odalı yapısını özel olarak tasarladık.
Yaklaşık 5 ay süren tasarım ve üretim sürecinin ardından, şirket içi laboratuvarımızda çok sayıda numune testi ve üretim simülasyonu gerçekleştirdik ve müşterinin kabulünü geçtikten sonra ekipmanı hızla teslim ettik.
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Telif Hakkı © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Tüm Hakları Saklıdır
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
YOK HAYIR
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
