Yarımkeçirici sənayedə plazma təmizləyici maşınların geniş tətbiqi Azərbaycan

Yarımkeçirici sənayedə plazma təmizləyici maşınların tətbiqi çox genişdir, əsasən aşağıdakı aspektlərdə əks olunur:

▘Səthin aktivləşdirilməsinin təmizlənməsi: Plazma təmizləmə texnologiyası vaflilərin, IC çiplərinin, yarımkeçirici silikon vaflilərin və s. səthi aktivləşdirmə təmizlənməsi üçün vaflinin səthindən oksid plyonkalarını, üzvi maddələri, maskaları və s. təmizləmək, təmizləyici müalicə və səth aktivləşdirmə funksiyasına malikdir. , və virtual lehimləmə fenomenindən qaçınmaq.

▘Qablaşdırmadan sonrakı emal: Çip qablaşdırma başa çatdıqdan sonra qablaşdırma materialı məhsulun keyfiyyətini təmin edərək qablaşdırma prosesi zamanı yaranan qaynaq qalıqlarını və çirkləndiriciləri təmizləmək üçün təmizlənir. Plazma təmizləyici maşınlar insan sağlamlığına zərər verə biləcək zərərli həlledicilərdən istifadə etmədən çirklənmədən təmizlənməyə nail ola bilər.

▘Fotorezist qalıqlarının çıxarılması: Yarımkeçiricilərin istehsalının fotolitoqrafiya prosesində avadanlıqların modelini müəyyən etmək üçün istifadə olunur. Litoqrafiya tamamlandıqdan sonra plazma təmizləyici maşın naxışın düzgünlüyünü və avadanlığın etibarlılığını təmin etmək üçün fotorezist qalıqlarını tez və hərtərəfli təmizləyə bilər.

▘Plan çöküntüsünün ilkin müalicəsi: Filmin çökmə prosesi zamanı filmin yapışmasını və vahidliyini təmin etmək üçün səth yüksək səviyyədə təmiz saxlanılmalıdır. Plazma təmizlənməsi çöküntüdən əvvəl çirkləndiriciləri və qalıqları effektiv şəkildə təmizləyə bilər və bununla da nazik təbəqələrin keyfiyyətini yaxşılaşdırır.

▘Səthin modifikasiyası: Plazma müalicəsi təkcə təmizləmə üçün istifadə edilmir, həm də səthin modifikasiyasına nail ola bilər. Qazın tərkibini və emal parametrlərini tənzimləməklə plazma texnologiyası materialların hidrofilliyini və ya hidrofobikliyini yaxşılaşdıra, cihazların işini və dayanıqlığını artıra bilər.

▘ Yapışmanı yaxşılaşdırın: Plazma təmizləyici maşınlar qablaşdırma materiallarının yapışmasını və etibarlılığını artırmaq üçün plastik, keramika və s. kimi qablaşdırma materiallarını təmizləmək üçün istifadə edilə bilər; Taxıl və yastıq keçirici yapışqan arasında yapışma performansını, lehim pastası infiltrasiya performansını yaxşılaşdırın, aparıcıların bağlanma gərginliyini artırın və qablaşdırılmış cihazların etibarlılığını artırın.