Reaktives Ionenätzsystem
Professionelle Bereitstellung maßgeschneiderter Lösungen für Kunden
Zweikammer-RIE (Cl₂)-Anpassung
Im Februar 2024 erhielten wir von einem Kunden eine Anfrage für einen 100-mm-Wafer-Chlorprozess.
Dies ist für uns eine interessante Anwendung, da das erforderliche Prozessgas die giftigen Gase Cl2 und BCl3 enthält. Wir müssen alle Konfigurationen der Maschine verbessern, um Sicherheitsprobleme zu vermeiden, und haben eine spezielle Doppelkammerstruktur der Prozesskammer und der Transferkammer entwickelt, um den Bediener perfekt zu schützen und gleichzeitig die Prozessanforderungen zu erfüllen.
Nach etwa fünf Monaten Konstruktions- und Produktionszeit führten wir im firmeneigenen Labor zahlreiche Mustertests und Produktionssimulationen durch und lieferten die Ausrüstung nach erfolgreicher Kundenabnahme schnell aus.
Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.
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