Sistema de grabado de iones reactivos
Brindar soluciones personalizadas y profesionales para los clientes
Personalización de RIE (Cl₂) de doble cámara
En febrero de 2024, recibimos una solicitud de un cliente para un proceso de cloro de obleas de 100 mm.
Esta es una aplicación interesante para nosotros porque el gas de proceso requerido contiene gases tóxicos Cl2 y BCl3. Tenemos que mejorar todas las configuraciones de la máquina para evitar problemas de seguridad y diseñamos especialmente una estructura de doble cámara de la cámara de proceso y la cámara de transferencia para proteger perfectamente al operador y cumplir con los requisitos del proceso.
Después de aproximadamente 5 meses de diseño y producción, realizamos múltiples pruebas de muestra y simulaciones de producción en el laboratorio interno de la empresa y entregamos rápidamente el equipo después de pasar la aceptación del cliente.
Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.
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